罗茨真空泵抽气速率下降的原因分析，XVDEVIOS安装包旧版总结了以下内容，希望能给大家带来帮助！

故障原因：

1、泵的内部零件磨损，导致间隙增大，影响了抽气效果。

2、泵的冷却系统出现故障，导致泵体温度过高，影响了抽气效果。

3、泵的进口或出口阀门泄漏，导致气体回流，影响了抽气效果。

4、叶轮或泵腔出现积碳、氧化物或异物。

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解决办法：

1、对磨损的零件进行修复或更换，以恢复泵的正常抽气速率。

2、检查并修复冷却系统，确保其正常工作，降低泵体温度。

3、检查并修复泄漏的阀门，确保其密封性能良好。

4、清洗叶轮或泵腔，移除积碳、氧化物或异物。